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机译:使用白光扫描干涉显微镜的微型FT光谱仪mOEms装置的计量学
P. C. Montgomery; D. Montaner; O. Manzardo; M. Flury; H. P. Herziga;
机译:使用白光扫描干涉显微镜的微型FT光谱仪MOEMS装置的计量
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